MEMS传感器是令人惊奇的小器件，大小仅为几平方毫米，通常包含两个芯片。一个是传感器芯片，通常来说MEMS器件提供运动或压力信息，但它也可以用作磁性固态传感器。另一个芯片提供必要的信号处理功能，可将来自传感器的微弱的模拟信号转换为有用信息，并通过一些串行总线传递这些信息。

 

　　这些传感器外形小巧、价格实惠，是机器人的理想配件。它们既小巧又实惠，通常内嵌在智能手机和其它消费电子游戏应用中进行销售，目前已售出了数亿个。此外，它们的耗电量很低。例如，当采用2V或3V电源时，一个加速度传感器的功耗通常不到10μA;功耗通常是频率和理想操作点精度之间的一个平衡点。低功耗方案，如低于1μA，还可以通过专用传感器来实现，这些传感器可作为一个运动触发器或篡改探测单元来运行。它们提供的快速唤醒和关闭机制是影响功耗的重要的参数。节能技术将根据应用需求获取数据点所需的频率而不断变化。

　　对于空间受限应用，机器人设计人员还可以选用内置了微控制器和内存的加速度传感器，通过定制软件构建微小的系统。由于这些传感器通常无需其它处理器便能连接其它传感器，因此经常被称为传感器集线器。例如，飞思卡尔XtrinsicMMA9550L提供3x3-mm三轴加速度传感器和带有14KB闪存和1.5KBRAM的32位微控制器。当机器人的末梢或手臂部分需要安放传感器时，飞思卡尔XtrinsicMMA9550L和其它类似器件就非常有用，因为机器人的末梢或手臂部分的空间非常狭小。另一个应用是设计精致小巧的可穿戴式机器人系统，甚至用于内窥镜检查医疗应用的可吞咽机器人胶囊。

 

　　这类器件上的板载内存和微控制器也可用来实施传感器通信协议，如IO-Link。这个日益普及的传感器网络协议需要约10KB的内存，因此，它可以集成在这个小巧的装置中，实现全新传感器节点的设计和规格。
2协同作用